平面磨床的几何精度是指设备在无负载运转状态下，关键部件的形状、位置及运动轨迹符合设计标准的程度，直接决定磨削工件的平面度、平行度等加工精度，主要涵盖导轨、主轴、工作台三大核心部件的精度指标。
导轨精度是基础保障，分为导轨直线度与平行度。纵向和横向导轨的直线度误差需控制在 0.01mm/1000mm 以内，若导轨存在弯曲或凸起，会导致工作台移动时偏离直线轨迹，使磨削后的工件出现平面度偏差；同时，纵横导轨间的垂直度误差需≤0.015mm/1000mm，垂直度不足会造成砂轮磨削路径倾斜，影响工件相邻面的垂直精度。
主轴精度决定砂轮旋转稳定性，包括主轴径向跳动与端面跳动。主轴径向跳动误差应≤0.003mm，若跳动过大，砂轮旋转时会产生偏心摆动，导致工件表面出现波纹或粗糙度超标；主轴端面跳动误差需≤0.002mm，端面跳动过大会使砂轮端面与工件表面不平行，影响磨削平面的平行度，尤其在磨削薄型工件时易产生变形。
工作台精度影响工件装夹与运动稳定性，主要包括工作台面平面度与运动平行度。工作台面自身平面度误差需≤0.008mm/1000mm，表面若有凹陷或凸起，会导致工件装夹后基准面不平整；工作台移动时与主轴轴线的平行度误差应≤0.01mm/1000mm，平行度偏差会使工件磨削时沿长度方向出现厚度不均，例如磨削长条形工件时两端厚度差超公差。
此外，砂轮架垂直移动精度、立柱与工作台的垂直度等也属于几何精度范畴。平面磨床的几何精度需通过专业仪器定期检测校准，若精度超标需及时调整导轨间隙、修复主轴轴承或刮研工作台面，才能确保长期稳定的磨削质量，满足精密零件的加工需求。
